25-58221 - Machine De Revêtement Par Pulvérisation Cathodique De Haute Résolution

L’objective du CNRC est d’acquérir une machine de revêtement par pulvérisation magnétron sous vide poussé afin de supporter les opérations de l’installation de microscopie électronique à balayage du Centre du Recherches de Construction. Cet équipement augmentera les capabilités d’imager des matériaux non-conducteurs, et améliorera le fonctionnalité l’installation de microscope électronique.

Le Centre de recherche sur la construction du Conseil National de Recherches du Canada (CNRC) dispose d’un microscope électronique à balayage par émission a champ froid (FE-SEM). La variété d’échantillons sont images avec le microscope, des divers matériaux de construction (par exemple, le ciment, le béton, l’acier, les polymères) a divers nanomatériaux émergents. L’imagerie doit souvent être réalisée à des grossissements de plus de cent mille. La microscopie électronique à balayage d’échantillons non conducteurs (tels que les polymères et le béton) est très difficile en raison du chargement des
échantillons. Le revêtement de la surface des échantillons non conducteurs avec une fine couche conductive peut grandement faciliter le processus et améliorer les résultats d’imagerie. Les dispositifs de revêtement par pulvérisation conventionnels fournissent un revêtement grossier qui pet masquer la
morphologie réelle de la surface, ce qui les rend non satisfaisants pour nos applications. Le Conseil National de Recherches Canada exige un applicateur de pulvérisation cathodique sous vide poussé qui peut être utilisé avec une cible métallique en iridium et fourni un revêtement a grain extrêmement fin,
permettant ainsi d’effectuer une microscopie haute résolution.