Préavis d’Adjudication de Contrat (PAC)
PAC 25-58272 - Système Automatisé de Piste Linéaire Multi-Modules Pour Plaquettes
1. Préavis d’adjudication de contrat (PAC)
Un préavis d’adjudication de contrat (PAC) est un avis public informant la collectivité des fournisseurs qu’un ministère ou organisme a l’intention d’attribuer un contrat pour des biens, des services ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné à l’avance, ce qui permet aux autres fournisseurs de signaler leur intérêt à soumissionner en présentant un énoncé des capacités. Si aucun fournisseur ne présente un énoncé des capacités qui satisfait aux exigences établies dans le PAC, au plus tard à la date de clôture indiquée dans le PAC, l’agent de négociation des contrats peut procéder à l’attribution du contrat au fournisseur sélectionné à l’avance.
2. Définition des besoins
Le Conseil national de recherches du Canada (CNRC) a un besoin pour la fourniture, la livraison, l’installation, la qualification et la formation des utilisateurs d’un (1) système automatisé linéaire à modules multiples pour le traitement de plaquettes (le « Système »). Ce système hautement spécialisé offrira un flux de processus entièrement intégré et automatisé, remplaçant le flux de travail manuel actuellement utilisé pour le revêtement diélectrique au bisbenzocyclobutène (BCB). La chaîne automatisée doit effectuer toutes les étapes de revêtement, de traitement thermique (cuisson) et de refroidissement dans une architecture linéaire unique, compacte, et conforme aux strictes contraintes d’espace de la salle blanche du CPFC.
3. Critères d’évaluation de l’énoncé des capacités (Exigences essentielles minimales)
Tout fournisseur potentiel doit démontrer, au moyen d’un énoncé de capacités, que son produit répond aux exigences suivantes : Le système doit :
• utiliser une architecture de piste linéaire automatisée comprenant des modules d’envoi, de cuisson, de refroidissement, de revêtement, de cuisson et de réception ;
• utiliser une architecture linéaire à une seule piste dont l’empreinte totale de l’armoire ne doit pas dépasser 35,5 po de largeur et 82,5 po de longueur ;
• s’adapter aux contraintes d’espace limitées de l’installation — en utilisant une architecture linéaire à une seule piste ne dépassant pas 35,5 pouces de largeur et 82,5 pouces de longueur ;
• être capable de traiter des substrats semi-conducteurs ronds de 3 pouces (75 mm) et de 4 pouces (100 mm). La transition entre les tailles doit être gérée par des recettes logicielles ou des ajustements matériels minimaux ;
• inclure une plaque de refroidissement par contact sous vide à 3 broches avec une surface anodisée dure pour stabiliser les substrats après la cuisson ;
• être capable de gérer simultanément au moins deux (2) des densités de cassettes normalisées suivantes :
• pas de 3/16 po (25 substrats),
• pas de 1/4 po (20 substrats), et
• pas de 3/8 po (12 substrats pour les plaquettes épaisses ou déformées) ;
• utiliser un mécanisme de transport automatisé des substrats pour déplacer les plaquettes entre tous les modules de procédé ;
• inclure un contrôleur avec une interface graphique (GUI) permettant la configuration du système, la surveillance, le dépannage et le stockage des recettes ;
• inclure une pompe à seringue de précision et un contrôleur spécialement conçus pour distribuer des polymères à haute viscosité tels que le BCB sans bulles ni obstruction ;
• inclure une plaque de refroidissement par contact sous vide à 3 broches avec une surface anodisée dure pour stabiliser les substrats après la cuisson ;
• inclure une pompe à seringue de précision et un contrôleur spécialement conçus pour distribuer des polymères à haute viscosité tels que le BCB sans bulles ni obstruction ;
• comporter des contrôleurs de débit d’échappement programmables et des interrupteurs à vide numériques pour assurer la sécurité et la répétabilité du procédé ;
• inclure au minimum trois (3) réservoirs de distribution de solvant de 5 gallons équipés de capteurs de niveau bas et de conduites de fluide en acier inoxydable ;
• inclure au minimum un (1) conteneur de déchets de 5 gallons avec capteur de fuite et dispositif de confinement des déversements ;
• être équipé d’un module de filtration à ventilateur intégré monté sur le dessus de l’enceinte ;
• accepter une alimentation de 120 V CA, 208 V monophasé ou 208 V triphasé à 60 Hz. L’utilisation d’un transformateur fourni par le fournisseur est acceptable.
Les indexeurs du système doivent être conformes aux configurations standard H de la norme SEMI.
Le mécanisme automatisé de transport des substrats doit utiliser une détection numérique du vide et présenter une répétabilité de ± 0,1 mm ou mieux.
Les modules de cuisson intégrés doivent supporter une plage de température programmable de 50 °C à au moins 300 °C.
Les modules de cuisson doivent comporter une cuisson par proximité programmable à 3 broches afin d’assurer une uniformité thermique et d’éviter la contamination des substrats. Les plaques doivent être en aluminium coulé avec une surface anodisée dure pour la résistance chimique.
Le module de revêtement doit :
• inclure un bras pivotant programmable capable de supporter au moins trois (3) buses de distribution indépendantes ;
• inclure un système de lavage intégré. Ce système doit être programmable par logiciel pour effectuer des cycles d’auto-nettoyage.
Le coater doit :
• être équipé de systèmes d’élimination de la bavure de bord (EBR) supérieurs et inférieurs pour les substrats de 3 pouces et 4 pouces ;
• utiliser une coupelle de récupération à faible turbulence afin de minimiser le brouillard de solvant et la redéposition sur la surface de la plaquette lors des rotations à grande vitesse ;
• utiliser une coupelle de récupération à faible turbulence afin de minimiser le brouillard de solvant et la redéposition sur la surface de la plaquette lors des rotations à grande vitesse ;
Le module de revêtement doit inclure un système de lavage intégré programmable par logiciel pour effectuer des cycles d’auto-nettoyage.
• Les conduites de fluide et le câblage doivent être en Téflon (ou fluoropolymère équivalent) ;
• La structure de l’armoire doit être en acier inoxydable électro-poli pour une compatibilité en salle blanche ;
• L’ordinateur principal de commande du système doit utiliser une configuration RAID 1 afin de garantir qu’en cas de défaillance d’un disque, le système reste entièrement opérationnel sans perte de recettes de procédé, de données d’étalonnage ou de journaux de fonctionnement.
Le Contractant doit :
• inclure un bol de revêtement de rechange et un ensemble de pièces de rechange comprenant les composants couramment remplacés ;
• démontrer la fiabilité du système en testant l’équipement mécanique, électrique, pneumatique et périphérique pendant au moins 60 heures avant l’expédition ;
• démontrer la fiabilité du système en faisant passer au minimum 1 000 plaquettes à travers la piste avant l’expédition.
Tout équipement électrique fourni dans le cadre du contrat doit être certifié ou approuvé pour une utilisation conforme au Code canadien de l’électricité, Partie 1, avant la livraison, par un organisme de certification accrédité par le Conseil canadien des normes, tel que Underwriters Laboratories (UL). Consultez le document Recognized Canadian Electrical Product or Equipment Approval Marks | Standards Council of Canada – Conseil canadien des normes (scc.ca) pour plus de détails. L’équipement doit porter l’étiquette de certification.
Le Canada a l’intention de conserver la propriété de toute propriété intellectuelle (PI) de premier plan découlant du contrat proposé, car le principal objectif de celui-ci est de générer des connaissances et des informations destinées à être diffusées publiquement.
4. Applicabilité des accords commerciaux à l’achat
Le présent achat est assujetti aux accords commerciaux suivants :
• Accord de libre-échange canadien (ALEC)
• Accord sur les marchés publics de l’Organisation mondiale du Commerce
• Canada-Union Européenne-Accord économique et commercial global
• Accord de Partenariat transpacifique global et progressiste
• Accord de libre-échange entre le Canada et le Chili (ALECC)
• Accord de libre-échange Canada-Colombie
• Accord de libre-échange Canada-Honduras
• Accord de libre-échange Canada-Corée
• Accord de libre-échange Canada-Panama
• Accord de libre-échange Canada-Pérou (ALECP)
• Accord de continuité commerciale Canada–Royaume-Uni
• Accord de libre-échange Canada-Ukraine
5. Justification du recours à un fournisseur sélectionné à l’avance
Le système de traitement de plaquettes P8000 Linear Track de C&D Semiconductor et ses caractéristiques uniques en font le seul système capable de satisfaire aux exigences. Le mécanisme linéaire de transfert des plaquettes du système réduit la contamination particulaire, simplifie la maintenance et permet un transfert rapide et direct des plaquettes entre les modules.
L’empreinte compacte du système, adaptée aux laboratoires, ne dépasse pas 35,5 pouces de largeur et 82,5 pouces de longueur. Son module indépendant de contrôle environnemental, sa capacité de reconfiguration pour plusieurs tailles de plaquettes, ses utilités linéaires intégrées et son logiciel ouvert et personnalisable font du P8000 le seul système répondant aux exigences du CNRC.
6. Exception(s) au Règlement sur les marchés de l’État
L’exception suivante au Règlement sur les marchés de l’État est invoquée pour cet achat :
• paragraphe 6(d) — « une seule personne est capable d’exécuter le marché »
7. Exclusions ou raisons justifiant le recours à l’appel d’offres limité
Les exclusions ou les raisons justifiant le recours à un appel d’offres limité suivantes sont invoquées en vertu de :
Accord de libre-échange Canadien (ALEC), Article 513 (1) (b) (iii) : l’absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord sur les Marchés Publics de l’Organisation Mondiale du Commerce (AMP-OMC), Article 13 (b) (iii) : absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord Européenne économique et Commercial Global (AECG), Article(s) 19.12 (b) (iii) : il n’existe pas de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de Partenariat Transpacifique Global et Progressiste (PTGP), Article 15.10 (b) (iii) : absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Chili, Article Kbis-9 b) : l’absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Colombie, Article 1409, Appel d’offres limité (1) (b) (iii) : L’absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Honduras, Article 17.11 (2) (b) (iii) : il n’existe pas de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Corée (ALECC), renvoyant au Protocole de l’OMC portant sur l’amendement de l’AMP, article 13 (1) (b) (iii) : l’absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Panama, Article 16.10 (1) (b) (iii) il y a absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Pérou, article 1409 : Appel d’offres limité (b) (iii) l’absence de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de continuité commerciale Canada–Royaume-Uni — Les dispositions de l’AECG sont incorporées par renvoi dans le présent préavis et en font partie intégrante (AECG) — article(s) 19.12 (b) (iii) : il n’existe pas de concurrence pour des raisons techniques;
Accord de libre-échange Canada-Ukraine Article 10.13 (b) (iii) absence de concurrence pour des raisons techniques.
8. Période du contrat proposé ou la date de livraison
Le système doit être livré vers le 31 Mars 2026.
9. Coût estimatif du contrat proposé
La valeur estimée du contrat est de 442 800.00 $ USD (TVH en sus).
10. Nom et adresse du fournisseur sélectionné à l’avance :
C&D Semiconductor Services
14 Old Indian Trail Milton, NY 12547 USA
11. Droit des fournisseurs de présenter un énoncé des capacités :
Les fournisseurs qui estiment être pleinement qualifiés et prêts à fournir les biens, les services ou des services de construction décrits dans ce PAC peuvent présenter par écrit un énoncé des capacités à la personne-ressource dont le nom figure dans cet avis d’ici la date de clôture, laquelle est aussi précisée dans cet avis. L’énoncé de capacités doit clairement démontrer que le fournisseur satisfait aux exigences publiées.
12. Date de clôture pour la présentation des énoncés des capacités :
La date et l’heure de clôture pour l’acceptation d’énoncés des capacités sont le 06 Février 2026 à 14 h HNE.
13. Demande de renseignements et présentation des énoncés des capacités
Les demandes de renseignements et les énoncés des capacités doivent être présentés à :
Katie Homuth | Agente principale des contrats
Services d’approvisionnement et des contrats | Direction des Services Financiers et d’Approvisionnement
Conseil national de recherches Canada | Gouvernement du Canada
Katie.Homuth@nrc-cnrc.gc.ca | 343-549-4539
